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超纯水设备中不断提升并保持氮封水箱合格电阻率要求的工艺专利

2023-02-15 08:45:57      点击:

纯水设备www.xqccs.com随着工业进步工业各行业对超纯水的需要越来越多,空气中含有二氧化碳、尘埃等杂质,而超纯水为纯的溶剂,对这些杂质的溶解能力很强,故一旦超纯水与空气接触,就会使其电阻率迅速下降,实践证明15MΩ.cm以上的超纯水暴露在空气中1分钟后水质就会下降至3-4MΩ.cm3分钟以后就会下降到2MΩ.cm左右,因此超纯水的储存容器需确保水体与空气不要接触。

目前普遍使用充氮法:即在水箱水面上充入氮气使箱内维持适当的正压力,阻止大气与箱内水面接触。纯水设备超纯水氮封水箱是将一定量的氮气充入密封的水箱内,水箱内氮气压力不大于80Kpa,氮气是惰性气体能防止CO2等其它物质溶入水中影响水质,保证水箱内的水不受二次污染而导致水质下降。

氮封装置由快速泄放阀及微压调节阀两大部分组成,而快速泄放阀由压力控制器及单座切断阀组成,当纯水设备储罐内压力升高至设定压力时,快速泄放阀迅速开启,将罐内多余压力泄放。微压调节阀是在储罐内压力降低时,开启阀门,向罐内充注氮气。因微压调节阀必须使用在压力为0.1Mpa压力以下,现场N2压力较高,必须安装压力调节阀将压力降低至0.1Mpa以下才可使用。压力可按要求分段设定,从0.5Kpa60 Kpa以下。

氮封装置在一定程度上防止水质衰减,但水质长时间不用水质仍然会有衰减,这样就会造成超纯水车间输送的抛光混床树脂消耗较快。本装置即使氮气封水箱水满,EDI也不会停止工作,而是当水箱水满时,由EDI装置继续不断的循环提升氮封水箱超纯水,补充水箱水质的衰减并不断的提高氮封水箱水质。

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